Những bài báo đầu tiên về maser được công bố vào năm 1954, gồm những kết quả thực nghiệm vào cùng một thời điểm nhưng độc lập bởi Charles Townes cùng đồng nghiệp tại trường Đại học Columbia ở Thành phố New York, và tiến sĩ Basov cùng tiến sĩ Prochorov ở viện Lebedev thành phố Moskva. Cả ba nhà khoa học này đều nhận giải thưởng Nobel năm 1964 cho những đóng góp của họ.

Nguyên lý cơ bản dẫn đến sự ra đời của maser (hay laser) chính là khái niệm phát xạ kích thích, lần đầu được đưa ra bởi Albert Einstein năm 1917. Khái niệm này được bắt nguồn từ những hiện tượng gần gũi trong thế giới vật chất và bức xạ, đó là hấp thụ và phát xạ tức thời.